在洁净厂房中,先要说的就是进风系统。为了能够增加空气的清洁度,就需要安装进风系统,除了进风系统之外,还需要安装回风系统,只要这两个系统同时运用,才能够改换空间内的空气,其中主要的就包括过滤箱,另外还有中央净化空调。
当然净化设备还有很多,不只是上面所说的这些,关于10-1000级的
洁净厂房而言,在树立的过程当中,还要安装垂直层流工作台,另外还包括自净器和洁净棚,除此之外,当工作人员进入到该车间之内,为了让室间内空气的清洁度,还要设置缓冲区。
在缓冲区当中设置洁净储衣柜和空气清新机,从而能够保障清洁度。洁净厂房是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中消费、制造。此环境空间的设计施工过程就可以称为洁净工程。