在洁净厂房中，先要说的就是进风系统。为了能够增加空气的清洁度，就需要安装进风系统，除了进风系统之外，还需要安装回风系统，只要这两个系统同时运用，才能够改换空间内的空气，其中主要的就包括过滤箱，另外还有中央净化空调。
　　当然净化设备还有很多，不只是上面所说的这些，关于10-1000级的洁净厂房而言，在树立的过程当中，还要安装垂直层流工作台，另外还包括自净器和洁净棚，除此之外，当工作人员进入到该车间之内，为了让室间内空气的清洁度，还要设置缓冲区。
　　 在缓冲区当中设置洁净储衣柜和空气清新机，从而能够保障清洁度。洁净厂房是指控制产品 （如硅芯片等） 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中消费、制造。此环境空间的设计施工过程就可以称为洁净工程。